特許
J-GLOBAL ID：200903019755530776
静圧気体軸受
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-229216
公開番号（公開出願番号）：特開2001-056027
出願日： 1999年08月13日
公開日（公表日）： 2001年02月27日
要約：
【要約】【課題】 特性の均一性に優れ且つ高剛性を備えた静圧気体軸受を提供する。【解決手段】 本発明に基づく静圧気体軸受10は、軸受ケース3、母材1及び表面絞り層2などから構成される。この例では、母材1は、平均粒径60μmの10%Sn青銅多孔質体からなる円板であり、軸受ケース3の前面に取り付けられ、その裏面側には圧力室5が形成されている。母材1の直径は36mm、板厚は6mmである。母材1の上には、表面絞り層2が接合されている。この表面絞り層2は、銅合金製(94.9wt%Cu-5.5wt%Sn-0.1wt%P)の多孔板からなり、その厚さは45μmであり、平均直径5μmの貫通孔が、1,600個/mm2の分布密度(気孔率4%)で形成されている。多孔板は、フォトリソグラフィ法を用いて貫通孔を形成した後、拡散接合によって母材1に接合されている。
請求項（抜粋）：
多孔質体からなる母材と、母材の上に接合され、予め所望の空気透過量になるように貫通孔の径及び分布を調整して作成された多孔板からなる表面絞り層とを備え、表面絞り層を介して気体を噴出させて、その静圧によって被支持部材を支持する静圧気体軸受。
Fターム (10件)：
3J102AA02
, 3J102BA14
, 3J102CA09
, 3J102EA02
, 3J102EA07
, 3J102EA18
, 3J102FA01
, 3J102FA02
, 3J102FA03
, 3J102GA07
