特許
J-GLOBAL ID：200903019766371882
ドライエッチング装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石原 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-017988
公開番号（公開出願番号）：特開2000-216147
出願日： 1999年01月27日
公開日（公表日）： 2000年08月04日
要約：
【要約】【課題】 液晶表示装置の製造等に使用されるドライエッチング装置において、下部電極の端面部及びエッジ部における異常放電によって処理基板がダメージを受けるのを防止する。【解決手段】 外周絶縁物3を下部電極2側面に接して配設し、下部電極2上の処理基板1の下面と外周絶縁物3の上面との間の距離を0.1mm以上、1.0mm以下とすることによって、処理基板1と下部電極2と外周絶縁物3の間の空間を小さくし、等方性なエッチングに関係するラジカル成分の入り込みを少なくし、電界集中によって起こる異常放電の発生を防止した。
請求項（抜粋）：
外周絶縁物が接して下部電極側面に配設され、下部電極上の処理基板の下面と外周絶縁物の上面との間の距離が0.1mm以上、1.0mm以下であることを特徴とするドライエッチング装置。
IPC (2件)：
H01L 21/3065
, G02F 1/13 101
H01L 21/302 B
, G02F 1/13 101
2H088FA18
, 2H088FA30
, 2H088HA01
, 2H088MA20
, 5F004AA16
, 5F004BB32
