特許

J-GLOBAL ID：200903019774128458

輸送用ウェーハ容器

発明者： 円田 博史
出願人/特許権者： 住友シチックス株式会社
代理人 (1件)： 押田 良久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-104199
公開番号（公開出願番号）：特開平9-270458
出願日： 1996年03月29日
公開日（公表日）： 1997年10月14日
要約：

【要約】【課題】 航空機輸送のごとく減圧雰囲気での気密性を確保して、汚染の心配がなく従来の2重包装を不要にでき、容器の再使用が可能な構成からなる輸送用ウェーハ容器の提供。【解決手段】 本体2と蓋4との間にパッキンを介して構成された断面略T字形状突起部6の溝部に断面略C字形状で帯状の締着材7を嵌め込んで、本体2と蓋4を容器外周部の全周にわたって結合することにより、容器1の気密性を向上確保でき、本体4及び蓋3外側全体に防湿性の樹脂製フィルムをコーティングすることにより、包装破れによる汚染の防止や2重包装の省略をすることができる。

請求項（抜粋）：

上面が開放された容器本体内にウェーハを収納して上面に蓋を被せる半導体ウェーハの輸送用容器において、容器本体と蓋との接合面にパッキンを配置し、接合時の接合面外周部に断面略T字型突起部を形成するための容器本体と蓋の各接合面外周部に断面略L字形状のフランジ部を周設した構成からなり、該突起部の溝部の所要箇所に断面略C字型帯状の締着材を嵌め込み、容器本体と蓋を締着可能とした輸送用ウェーハ容器。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B65D 85/00 ,  B65D 85/86

FI (3件)：

H01L 21/68 T ,  B65D 85/00 H ,  B65D 85/38 R