力学量センサ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：碓氷裕彦 , 伊藤高順
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-060596
公開番号（公開出願番号）：特開2008-020433
出願日： 2007年03月09日
公開日（公表日）： 2008年01月31日
要約：

【課題】力学量を正確に検出しつつ、センサ面積が大型化しない構造の力学量センサを提供すること。【解決手段】第1力学量検出手段(例えば容量式加速度センサ)を有する第1基板(シリコン製センサ基板)と、第2力学量検出手段(例えばピエゾ式圧力センサ)を有するとともに、第1基板に当接する第2基板(シリコン製センサ基板)とを備え、第1基板に、第2基板が対向して当接することにより封止空間が形成され、この封止空間内に第1力学量検出手段を封止することで、第1力学量検出手段を保護する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

第1力学量検出手段(23,24)を有する第1基板(21)と、第2力学量検出手段(32,132,133)を有するとともに、前記第1基板(21)に当接する第2基板(31,151)とを備え、前記第1基板(21)に、前記第2基板(31,151)が対向して当接することにより封止空間(37)が形成され、前記第1力学量検出手段(23,24)は、前記封止空間(37)に配置されることを特徴とする力学量センサ。

IPC (3件)：

G01P 15/125 , G01L 9/00 , H01L 29/84

FI (3件)：

G01P15/125 Z , G01L9/00 303Z , H01L29/84 Z

Fターム (28件)：

2F055AA12 , 2F055BB20 , 2F055CC02 , 2F055DD05 , 2F055EE14 , 2F055FF43 , 2F055GG12 , 4M112AA01 , 4M112AA02 , 4M112BA01 , 4M112BA07 , 4M112CA01 , 4M112CA03 , 4M112CA07 , 4M112CA12 , 4M112CA13 , 4M112CA21 , 4M112CA23 , 4M112CA31 , 4M112DA02 , 4M112DA16 , 4M112DA18 , 4M112EA03 , 4M112EA06 , 4M112EA07 , 4M112EA11 , 4M112FA20 , 4M112GA01

引用特許：

出願人引用 (2件)

盗難防止装置、盗難防止方法および盗難防止プログラム
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-033231 出願人：富士通テン株式会社
加速度センサおよびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-164123 出願人：株式会社村田製作所

審査官引用 (6件)

半導体センサ及びタイヤ状態監視装置の送信機
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-358174 出願人：太平洋工業株式会社
圧力センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-001086 出願人：アルプス電気株式会社
容量式圧力センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-285234 出願人：株式会社山武

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