特許

J-GLOBAL ID：200903019781359236

露光装置、ミラーの冷却方法、反射マスクの冷却方法及び露光方法

発明者： 太田 和哉 ,  近藤 洋行
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (2件)： 渡部 温 ,  柳瀬 睦肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-195766
公開番号（公開出願番号）：特開2004-039905
出願日： 2002年07月04日
公開日（公表日）： 2004年02月05日
要約：

【課題】ミラーの熱膨張を抑制することによりミラーの面形状の変形を抑制できる露光装置及びミラーの冷却方法を提供する。【解決手段】本発明に係る露光装置は、EUV光を反射マスクに導く照明系と、反射マスクからのEUV光を感光性基板に導く投影光学系とを有し、反射マスクのパタンを感光性基板へ転写する露光装置において、EUV光を反射するミラー21を冷却する冷却機構を備え、この冷却機構はミラー21の表面及び裏面の少なくとも一方に気体などの冷却媒体を噴出する噴出ノズル17を有するものである。前記冷却機構によりミラー21を冷却するタイミングを制御する制御部をさらに含み、この制御部は露光動作を行っていないときに冷却媒体を噴出ノズル17から噴射するように制御することが好ましい。【選択図】 図3

請求項（抜粋）：

EUV光を反射マスクに導く照明系と、反射マスクからのEUV光を感光性基板に導く投影光学系とを有し、反射マスクのパタンを感光性基板へ転写する露光装置において、 EUV光を反射するミラーを冷却する冷却機構を備え、この冷却機構はミラーの表面及び裏面の少なくとも一方に冷却媒体を噴出する噴出ノズルを有することを特徴とする露光装置。

IPC (3件)：

H01L21/027 ,  G02B5/10 ,  G03F7/20

FI (7件)：

H01L21/30 516E ,  G02B5/10 Z ,  G03F7/20 503 ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/30 515D ,  H01L21/30 517 ,  H01L21/30 531A

Fターム (19件)：

2H042DB02 ,  2H042DB13 ,  2H042DB14 ,  2H042DD04 ,  2H042DE00 ,  2H097AA02 ,  2H097AA03 ,  2H097AB09 ,  2H097BA10 ,  2H097CA15 ,  2H097EA01 ,  2H097GB00 ,  2H097LA10 ,  5F046BA05 ,  5F046CB02 ,  5F046DA26 ,  5F046DA30 ,  5F046DB02 ,  5F046GB01