特許
J-GLOBAL ID：200903019788662295
搬送用アームロボットのアーム駆動装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大菅 義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-111194
公開番号（公開出願番号）：特開平11-307609
出願日： 1998年04月21日
公開日（公表日）： 1999年11月05日
要約：
【要約】【課題】 完成市販品の3軸磁性流体シールユニットの使用に代わる独自の構成により、軽量かつ高い信頼性・耐久性・メンテナンス性を有し、また低コストで製造可能なアーム駆動装置を備える搬送用アームロボットの提供。【解決手段】 2つのアーム駆動モータ10、10’を左右に並設した上下滑動部23を内ケース33が上下方向に滑動自在に内設し、そしてさらに内ケース33を外ケース34(及び下部ケース31)が公転軸回りに回転可能に内設する。そしてアーム駆動装置内部の気密シールとして、モータ保持部24上面と内ケース33上面底面の間の伸縮間隙にベローズ27a、a’が張設され、出力軸11、11’と上下滑動部23との間の回転摺接部には磁性流体シール19、19’が、また上下滑動部23のプッシュロッド周囲付近の内ケース33と外ケース34との間の回転摺接部に磁性流体シール28aが挿設されている。
請求項（抜粋）：
アームにより被搬送物を搬送する搬送用アームロボットのアーム駆動装置において、アームに軸回転を伝達して駆動するアーム駆動手段と、該アーム駆動手段を設置して該軸回転の回転面に交わる方向に滑動可能な滑動部と、該滑動部を内設して公転軸回りに回転可能な内ケースと、該内ケースを内設する外ケースと、該滑動部を滑動させる滑動駆動手段および該内ケースを公転軸回りに回転させる公転軸回り回転駆動手段を内設し、前記外ケースに一体化された下部ケースと、を備え、該アーム駆動手段と該滑動部との間の回転摺接部、および該内ケースと該外ケースとの間の回転摺接部を磁性流体シールで、該滑動部と内ケースとの間の滑動摺接部をベローズでシールし、特に該内ケースと該外ケースとの間の回転摺接部をアーム駆動手段より奥もしくはその近傍のアーム駆動装置内部の位置に少なくとも該アーム駆動装置の開口端部での径よりも小さい径で設けていることを特徴とする搬送用アームロボットのアーム駆動装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 A
, B65G 49/07 D
