特許

J-GLOBAL ID：200903019791569794

マイクロ波無電極放電ランプ装置

発明者： 原田 明一 ,  山本 雅喜 ,  久我 真澄 ,  半田 邦彦 ,  小倉 利夫
出願人/特許権者： 株式会社日立ディスプレイデバイシズ
代理人 (1件)： 小野寺 洋二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-156204
公開番号（公開出願番号）：特開2005-339951
出願日： 2004年05月26日
公開日（公表日）： 2005年12月08日
要約：

【課題】 高出力のマイクロ波の照射を可能とし、高輝度のプラズマ光を得る。【解決手段】 マイクロ波を放射するマグネトロンを結合した導波管に結合され、一方の側面にプラズマ光を透過させる開口窓を有する金属製板材からなる箱状のアプリケータ4と、このアプリケータ4の内部に開口窓6に対向させて保持固定され、且つプラズマ光を透過させるランプハウス7と、このランプハウス7の内部に収容され、且つプラズマ光を透過させるパイプ7aと、このパイプ7aの内部に当該パイプ7aの外周面との間に隙間を有して同心軸上に支持固定され、且つマイクロ波の照射によりプラズマ光を放出する無電極放電ランプ11と、パイプ7aの両端部に結合され、且つ隙間に液状冷却媒体を流通させる一対の管継手19a,19bとを設けることにより、無電極放電ランプ11を液状冷却媒体により冷却することにより、無電極放電ランプ11の管壁温度を低下させることができる。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

マイクロ波を放射するマグネトロンと、 前記マグネトロンに結合され、且つ当該マグネトロンから放射されたマイクロ波を伝播させる導波管と、 前記導波管に結合され、且つ少なくとも一方の側面にプラズマ光を透過させる窓を有する金属製板材からなる箱状のアプリケータと、 前記アプリケータの内部に前記窓に対向させて保持固定され、且つ前記プラズマ光を透過させるランプハウスと、 前記ランプハウスの内部に収容され、且つ前記プラズマ光を透過させるパイプと、 前記パイプの内部に当該パイプの外周面との間に隙間を有して同心軸上に支持固定され、且つ前記マイクロ波の照射によりプラズマ光を放出する無電極放電ランプと、 前記パイプの両端部に結合され、且つ前記隙間に液状冷却媒体を流通させる一対の冷却媒体流入出手段と、 を備えたことを特徴とするマイクロ波無電極放電ランプ装置。

IPC (3件)：

H01J65/04 ,  F21S2/00 ,  F21V29/00

FI (3件)：

H01J65/04 B ,  F21V29/00 Z ,  F21S1/00 P

Fターム (5件)：

3K014LA04 ,  3K014LB02 ,  3K014MA05 ,  3K014MA09 ,  5C039PP12