特許
J-GLOBAL ID：200903019808512970
表面顕微鏡及び顕微方法
発明者：
,
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-003676
公開番号（公開出願番号）：特開平5-187864
出願日： 1992年01月13日
公開日（公表日）： 1993年07月27日
要約：
【要約】【目的】試料表面形状を観察し、同一上の漏洩磁場、電界分布を高精度に観察、測定できる原子間力、磁気力、静電力等を利用した表面顕微鏡を提供することにある。【構成】斥力一定制御機能及び力の勾配計測機能を有し、斥力一定モードで探針17が試料2を捉え、これを基準として試料上空に探針を移動し、そこでの力の勾配の変化を計測する機能3、4、5、18、19を有する構成とした。【効果】試料表面構造とその上空の漏洩磁気、電界分布を高精度に計測することが出来、表面構造と3次元漏洩磁気分布や電界分布との相関を計測することが出来る。
請求項（抜粋）：
探針を試料に近づけ、該探針に働く微小力を一定に保ちつつ表面情報を得たり、あるいは微小力の変化で表面情報を得る表面顕微鏡において、斥力、引力の検出手段、及び微小力の変化量(勾配)を検出する手段を有することを特徴とした表面顕微鏡。
IPC (2件)：
引用特許：
前のページに戻る
