液晶パネルの製造方法および製造装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：宮井暎夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-286866
公開番号（公開出願番号）：特開平10-133229
出願日： 1996年10月29日
公開日（公表日）： 1998年05月22日
要約：

【要約】【課題】液晶パネルの製造工程におけるTFTの帯電および静電破壊を防止する。【解決手段】 TFT付ガラス基板3を支持する搬送ツール6の支持部7を導電性部材にし、かつこの導電性部材からなる支持部7を導電性の搬送ツール6を介して接地している。TFT付ガラス基板3の搬送時、搬送ツール6が上昇しTFT付ガラス基板3を持ち上げた瞬間から搬送の終了までの間、支持部7がTFT付ガラス基板3の端と接触しており、プレート1からTFT付ガラス基板3を剥離することにより発生するTFT付ガラス基板3上の静電気を、導電性の支持部7および搬送ツール6を介して地面に逃がし、TFT付ガラス基板3に形成されているTFTの帯電および静電破壊を防止できる。

請求項（抜粋）：

少なくとも薄膜トランジスタを形成したガラス基板を保持したプレート上から前記ガラス基板を搬送ツールにより持ち上げて移送する液晶パネルの製造方法であって、前記搬送ツールにより前記ガラス基板を少なくとも持ち上げるときに、接地した導電性部材を前記ガラス基板の端に接触させることを特徴とする液晶パネルの製造方法。

IPC (2件)：

G02F 1/136 500 , G09F 9/35

FI (2件)：

G02F 1/136 500 , G09F 9/35

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