特許
J-GLOBAL ID：200903019813243715
マイクロレンズ付きカラー固体撮像素子の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-263550
公開番号（公開出願番号）：特開平5-100109
出願日： 1991年10月11日
公開日（公表日）： 1993年04月23日
要約：
【要約】【目的】カラー固体撮像素子の最上層にマイクロレンズを間隔狭く形成し、レンズ間の接触を防ぐ。【構成】カラー固体撮像素子最上層の有機膜100上に、ポジ形レジスト101のパターンを所望のマイクロレンズ形状に形成する工程、フッ素系プラズマで表面処理をする工程、ポジ形レジストを剥離する工程、マイクロレンズ用レジスト102のパターンを所望のマイクロレンズ形状に形成する工程、全面を露光してマイクロレンズ用レジストを脱色する工程、加熱によりこれを凸状に変形する工程とを具備して成るマイクロレンズ103付きカラー固体撮像素子の製造方法。【効果】マイクロレンズ面積が大きくなり感度が向上する。
請求項（抜粋）：
光電変換を行なう受光部、前記受光部で発生した電気信号を取り出す走査部及び前記受光部と前記走査部とを保護するパッシベーション膜が形成された半導体基板上に、平坦化の機能あるいは混色防止の機能を持たせた有機膜と分光するためのカラーフィルタを具備して成るカラー固体撮像素子の最上層の前記有機膜上に、ポジ形レジストのパターンを所望のマイクロレンズ形状に形成する工程、フッ素系プラズマで表面処理をする工程、前記ポジ形レジストを剥離する工程、マイクロレンズ用レジストのパターンを所望のマイクロレンズ形状に形成する工程、全面を露光してマイクロレンズ用レジストを脱色する工程、加熱によりこれを凸状に変形する工程とを具備して成るマイクロレンズ付きカラー固体撮像素子の製造方法。
IPC (3件)：
G02B 5/20 101
, H01L 27/14
, H04N 9/07
