研磨装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：津田直久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-215346
公開番号（公開出願番号）：特開平7-060635
出願日： 1993年08月31日
公開日（公表日）： 1995年03月07日
要約：

【要約】【目的】研磨材の撹拌性能を高めて、被研磨体の研磨が効率良く行えるようにする。【構成】磁石を取付けた回転体4の回転駆動により、容器1内の研磨材1bを撹拌させて、被研磨体1aを研磨する研磨装置において、前記回転体4の上面を、該回転体4の回転中心を通る区画線で区画した第1磁石取付域S1と、第2磁石取付域S2とを形成して、前記第1磁石取付域S1の径方向外側領域には、上面をN極とした第1磁石3aを、また径方向内側領域には、上面をS極とした第2磁石3bをそれぞれ回転方向に近接して取付けると共に、前記第2磁石取付域S2の径方向外側領域で前記第1磁石3aに対し回転方向に隔離した位置には、上面をS極とした第3磁石3cを、また径方向内側領域で前記第2磁石3bに対し回転方向に隔離した位置には、上面をN極とした第4磁石3dをそれぞれ回転方向に近接して取付ける。

請求項（抜粋）：

被研磨体(1a)と磁性材料から成る研磨材(1b)とを収容した容器(1)の載置面(2)と、上面に磁石を配設する回転体(4)とを備え、前記載置面(2)の下方に配置する前記回転体(4)の回転駆動により、前記研磨材(1b)を撹拌させて前記被研磨体(1a)を研磨する研磨装置において、前記回転体(4)の上面に、該回転体(4)の回転中心を通る区画線で区画した少なくとも1つの第1磁石取付域(S1)と、少なくとも1つの第2磁石取付域(S2)とを形成して、前記第1磁石取付域(S1)の径方向外側領域には、上面をN極とした第1磁石(3a)を、また径方向内側領域には、上面をS極とした第2磁石(3b)をそれぞれ回転方向に近接して取付けると共に、前記第2磁石取付域(S2)の径方向外側領域で前記第1磁石(3a)に対し回転方向に隔離した位置には、上面をS極とした第3磁石(3c)を、また径方向内側領域で前記第2磁石(3b)に対し回転方向に隔離した位置には、上面をN極とした第4磁石(3d)をそれぞれ回転方向に近接して取付けていることを特徴とする研磨装置。

引用特許：

審査官引用 (5件)

表面研磨装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-140447 出願人：株式会社イマハシ製作所
特開平2-180557
金属研磨装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-184606 出願人：有限会社瑞穂工芸, 株式会社オハラ

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