特許
J-GLOBAL ID：200903019819242133
基板搬送用フィンガ組立体
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-128960
公開番号（公開出願番号）：特開平11-322069
出願日： 1998年05月12日
公開日（公表日）： 1999年11月24日
要約：
【要約】【課題】 フィンガで把持して搬送するガラス基板の変形を小さくするとともに、重量が軽く剛性が大でかつ受け渡しピンを避けることが可能なフィンガ組立体を提供する。【解決手段】 フィンガ組立体10は、搬送装置に取付けるための固定部10aと、固定部に一端が固着された平行な少なくとも3本の同一断面形状または同一断面2次モーメントを有するフィンガ12を具備するガラス基板支持部10bとで形成する。各フィンガには吸着パッド3及び吸着用エアー回路を設ける。
請求項（抜粋）：
上面が同一平面に位置するように配設された複数の細長い板状のフィンガの上面に薄板状の基板を載置して、搬送装置により該基板を搬送するための基板搬送用フィンガ組立体において、該フィンガ組立体を前記搬送装置に取付けるための固定部と、該固定部に一方の端部が固着され、かつ平行に配設された少なくとも3本の前記フィンガを含む基板支持部とを有することを特徴とする、基板搬送用フィンガ組立体。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B65G 49/06 A
, B25J 15/06 M
