固形試料の自動検査装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：清水守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-334760
公開番号（公開出願番号）：特開平7-198566
出願日： 1993年12月28日
公開日（公表日）： 1995年08月01日
要約：

【要約】【目的】試料の標本の作製と観察、分析の工程を連続的な動作により行ない得るとともに、検査工程から人手による部分を除き、一連の検査、分析の自動化を推進する固形試料の自動検査装置を提供する。【構成】固形試料Sをカットして薄片試料Saを順次採取し固形試料Sの検査を行う固形試料の自動検査装置において、固形試料Sをカットして薄片試料Saを粘着テープ20へ自動的に採取する薄片試料作製装置と、この粘着テープ20を所定ピッチで搬送する搬送装置と、搬送された薄片試料Saを順次観察する撮像装置70と、この撮像装置70から得られる観察情報に基づいて固形試料Sを検査する装置とを具備する。

請求項（抜粋）：

固形試料をカットして薄片試料を順次採取し固形試料の検査を行う固形試料の自動検査装置において、(a)固形試料をカットして薄片試料を粘着テープへ自動的に採取する薄片試料作製装置と、(b)該粘着テープを所定ピッチで搬送する搬送装置と、(c)搬送された薄片試料を順次観察する撮像装置と、(d)該撮像装置から得られる観察情報に基づいて固形試料を検査する装置とを具備することを特徴とする固形試料の自動検査装置。

IPC (4件)：

G01N 1/28 , G01N 1/00 101 , G01N 1/04 , G02B 21/34

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平2-299643
特開昭58-158534
特開平2-299643

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