特許
J-GLOBAL ID:200903019823977075
ヒートパイプを備えた半導体光素子
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
加藤 一男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-274263
公開番号(公開出願番号):特開2002-084029
出願日: 2000年09月11日
公開日(公表日): 2002年03月22日
要約:
【要約】【課題】放熱性に優れ、小型化、薄膜化、アレイ化が容易で、作製の簡単なヒートパイプを備えた半導体光素子である。【解決手段】ヒートパイプを備えた半導体光素子では、第1の基板上で形成された少なくとも1つの光機能領域13、15、17、19、21を含む第1の基体が、細管115と細管115中に封入された熱輸送流体から成るヒートパイプを備えた第2の基体111-1、111-2に熱的に結合されている。
請求項(抜粋):
第1の基板上に形成された少なくとも1つの光機能領域を含む第1の基体が、細管と該細管中に封入された熱輸送流体から成るヒートパイプを備えた第2の基体に熱的に結合されていることを特徴とする半導体光素子。
IPC (4件):
H01S 5/024
, H01L 31/00
, H01L 33/00
, H01S 5/183
FI (4件):
H01S 5/024
, H01L 33/00 N
, H01S 5/183
, H01L 31/00 B
Fターム (18件):
5F041AA33
, 5F041DA01
, 5F041DA15
, 5F041DA20
, 5F041DA35
, 5F073AA65
, 5F073AA72
, 5F073AB17
, 5F073CA04
, 5F073CB22
, 5F073EA29
, 5F073FA26
, 5F088AA03
, 5F088AA04
, 5F088BA11
, 5F088BA16
, 5F088JA03
, 5F088JA20
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