特許

J-GLOBAL ID：200903019831609352

積層材料用のプラズマ加工機

発明者： 竹居 滋郎 ,  飯村 幸夫
出願人/特許権者： 大日本印刷株式会社
代理人 (1件)： 金山 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-101808
公開番号（公開出願番号）：特開2000-293966
出願日： 1999年04月08日
公開日（公表日）： 2000年10月20日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、金属、および、絶縁材料からなる積層材料であっても高精度および高スループットの加工ができる積層材料用のプラズマ加工機を提供することを目的とする。【解決手段】 本発明の積層材料用のプラズマ加工機は、熱膨張係数がそれぞれ異なる金属材料、および、絶縁材料からなる積層材料を加工するプラズマ加工機において、前記絶縁材料を加工する為の電極形状が曲率を持つことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

熱膨張係数がそれぞれ異なる金属材料、および、絶縁材料からなる積層材料を加工するプラズマ加工機において、前記絶縁材料を加工する為の電極形状が曲率を持つことを特徴とする積層材料用のプラズマ加工機。

IPC (3件)：

G11B 21/21 ,  C23F 4/00 ,  H05K 3/00

FI (3件)：

G11B 21/21 A ,  C23F 4/00 Z ,  H05K 3/00 L

Fターム (20件)：

4K057DA11 ,  4K057DB11 ,  4K057DB15 ,  4K057DD01 ,  4K057DE06 ,  4K057DE08 ,  4K057DE09 ,  4K057DE20 ,  4K057DG07 ,  4K057DG08 ,  4K057DG15 ,  4K057DM06 ,  4K057DN01 ,  5D059AA01 ,  5D059BA01 ,  5D059CA01 ,  5D059CA30 ,  5D059DA09 ,  5D059DA31 ,  5D059EA12