ウエハの搬送治具

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：船橋國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-006877
公開番号（公開出願番号）：特開平8-203982
出願日： 1995年01月20日
公開日（公表日）： 1996年08月09日
要約：

【要約】【目的】ウエハ裏面にダストを付着させることなく搬送する。【構成】この搬送治具1は、減圧吸引してウエハを吸着保持するための開口部4を有した治具本体2を備えており、治具本体2のウエハ保持面2aには、開口部4を囲繞して環状の突条部5が形成されるとともに、突条部5の治具本体2と反対の側の端部が同一面上に位置するように形成されている。

請求項（抜粋）：

ウエハを吸着保持して搬送するための治具であって、減圧吸引して前記ウエハを吸着保持するための開口部を有した治具本体を備えてなり、前記治具本体のウエハ保持面には、前記開口部を囲繞して環状の突条部が形成されるとともに、該突条部の前記治具本体と反対の側の端部が同一面上に位置するように形成されていることを特徴とするウエハの搬送治具。

IPC (3件)：

H01L 21/68 , B65G 49/07 , C23C 14/50

引用特許：

審査官引用 (1件)

低発塵性の装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-334738 出願人：株式会社ニコン

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