特許
J-GLOBAL ID:200903019833901476
光開始剤、感光性組成物、感光材料及びレリーフパターンの製造法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
若林 邦彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-097104
公開番号(公開出願番号):特開平8-292573
出願日: 1995年04月21日
公開日(公表日): 1996年11月05日
要約:
【要約】【目的】 優れた感光特性を示す光開始剤、これを用いた感光性組成物、感光材料及びレリーフパターンの製造法を提供する。【構成】 (a)下記一般式(I)【化1】(式中、R1、R2、R3、R4、R5、R6、R7、R8、R9、R10、R11、R12、R13、R14及びR15は各々独立に、水素原子、炭素数1〜5のアルキル基、ハロゲン原子、トリハロメチル基又は炭素数1〜5のアルコキシ基を示す)で表される芳香族ヘキサアリールビスイミダゾール化合物及び(b)芳香族メルカプト化合物を組み合わせてなる光開始剤、これを用いた感光性組成物、感光材料及びレリーフパターンの製造法。
請求項(抜粋):
(a)下記一般式(I)【化1】(式中、R1、R2、R3、R4、R5、R6、R7、R8、R9、R10、R11、R12、R13、R14及びR15は各々独立に、水素原子、炭素数1〜5のアルキル基、ハロゲン原子、トリハロメチル基又は炭素数1〜5のアルコキシ基を示す)で表される芳香族ヘキサアリールビスイミダゾール化合物及び(b)芳香族メルカプト化合物を組み合わせてなる光開始剤。
IPC (3件):
G03F 7/028
, C08F 2/50 MDN
, G03F 7/029
FI (3件):
G03F 7/028
, C08F 2/50 MDN
, G03F 7/029
引用特許:
審査官引用 (7件)
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特開平4-164902
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特開平1-223444
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特開平4-355451
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改善された解像力を有する抑制剤含有光硬化性組成物
公報種別:公開公報
出願番号:特願平3-065714
出願人:イー・アイ・デユポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニー
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特開昭60-264279
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特開昭62-267736
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特開昭59-160140
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