特許
J-GLOBAL ID：200903019839608940
基板外観検査システム
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
笹島 富二雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-051437
公開番号（公開出願番号）：特開平10-253547
出願日： 1997年03月06日
公開日（公表日）： 1998年09月25日
要約：
【要約】【課題】ハードディスク用カーボン基板等の被検査基板の表面における凹凸欠陥を、自動的に高精度かつ効率良く検査する。【解決手段】カセット51に収納されて供給される被検査基板を、基板供給・搬出ステーションAにおいて基板を搬送する回転テーブル56に供給し、まず、表面検査ステーションBで表面の欠陥検出を行い、その後反転ステーションCで基板の表裏を反転させてから、裏面検査ステーションDに送って裏面の欠陥検出を行う。前記欠陥検出は、基板の検査面に対して直角に平行光を照射して該平行光の反射を撮像し、基板表面の凹凸欠陥を明暗異常部として検出する。そして、検出された欠陥の検出画素数を、基板をメディア化したときのミッシングエラー個数に相当する値に換算し、該換算値に基づいてランク分けを行い、検査済の基板を前記ランクに対応したカセット51に収納させる。
請求項（抜粋）：
被検査基板の検査面に対して直角に平行光を照射する平行光照射手段と、前記平行光の被検査基板からの反射光を撮像する撮像手段とからなる検査ユニットを備えると共に、前記撮像手段により撮像された画像から検査面上の欠陥を検出する欠陥検出手段と、該欠陥検出手段による欠陥の検出結果に基づいて前記非検査基板の品質ランクを判定するランク判定手段とを有する処理装置とを備えてなり、前記検査ユニットに対して供給された被検査基板の表裏をそれぞれ検査した後、前記ランク判定手段により判定されたランクに応じて検査済の基板を仕分けすることを特徴とする基板外観検査システム。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 21/88 G
, G11B 5/84 C
