特許
J-GLOBAL ID：200903019842834919
計算機ホログラムを有する平板及びそれを用いた計測方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-068831
公開番号（公開出願番号）：特開平8-240418
出願日： 1995年03月02日
公開日（公表日）： 1996年09月17日
要約：
【要約】【目的】 透明な平板の面上に目的の異なる計算機ホログラムを複数個形成し、この計算機ホログラムを有する平板を用いて、該平板の位置出し、被検査面の位置出し及び被検査面の測定が容易に、且つ正確に行える計算機ホログラムを有する平板及びそれを用いた計測方法を得ること。【構成】 透明な平板の面上に被検査面を計測する為の波面を所定の入射光波面に対して発生させる測定用計算機ホログラム及び該測定用計算機ホログラムに対する該被検査面の適切な位置を設定する為の被検物位置出し計算機ホログラムを有する平板にして、該被検物位置出し計算機ホログラムは所定の入射光波面に対して各々独立して該被検査面の異なる点に集光する波面を発生する複数のサブホログラムより成ることを特徴とする計算機ホログラムを有する平板。
請求項（抜粋）：
透明な平板の面上に被検査面を計測する為の波面を所定の入射光波面に対して発生させる測定用計算機ホログラム及び該測定用計算機ホログラムに対する該被検査面の適切な位置を設定する為の被検物位置出し計算機ホログラムとを有し、該被検物位置出し計算機ホログラムは所定の入射光波面に対して各々独立して該被検査面の異なる点に集光する波面を発生する複数のサブホログラムより成ることを特徴とする計算機ホログラムを有する平板。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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