特許

J-GLOBAL ID：200903019844352504

光カプラの製造方法

発明者： 安岡 清二 ,  輪竹 賢二郎 ,  山内 良三
出願人/特許権者： 株式会社フジクラ
代理人 (1件)： 増田 竹夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-161075
公開番号（公開出願番号）：特開平6-160651
出願日： 1991年06月05日
公開日（公表日）： 1994年06月07日
要約：

【要約】【目的】 結合特性の再現性がよく、また量産性の優れた光カプラを製造する方法を提供する。【構成】 シリコン基板上1にガラス材料粉体2A,3Aを静電的に付着させ、これにより結合交差部を有する複数の光導波路を形成した後、これらを焼結することを特徴とする光カプラの製造方法である。

請求項（抜粋）：

シリコン基板上にガラス材料粉体を静電的に付着堆積させ、これにより結合交差部を有する複数の光導波路を形成した後、これらを焼結することを特徴とする光カプラの製造方法。

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平1-214803
  
• 特公昭56-021737
  
• 特開昭60-036341
  
• 特開昭57-067038