特許

J-GLOBAL ID：200903019846000524

圧電デバイス、圧電デバイスの製造方法及び電子機器

発明者： 今村 峰宏
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (3件)： 西 和哉 ,  志賀 正武 ,  青山 正和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-200130
公開番号（公開出願番号）：特開2007-019310
出願日： 2005年07月08日
公開日（公表日）： 2007年01月25日
要約：

【課題】 圧電デバイスの周波数調整の高精度化、及び圧電デバイスの小型化・薄型化を図った圧電デバイス、圧電デバイスの製造方法、及び電子機器を提供する。【解決手段】 パッケージ3内に圧電素子2が収容された圧電デバイス20であって、圧電素子2が実装され、電気的に接続されたTAB基板5と、TAB基板5と電気的に接続された駆動用IC26と、圧電素子20を収容する透明材料からなる蓋体12と、を備え、蓋体12と駆動用IC26とが陽極接合により接合され、圧電素子2が蓋体12と駆動用IC26とで封止されたことを特徴とする。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

パッケージ内に圧電素子が収容された圧電デバイスであって、 前記圧電素子が実装され、前記圧電素子と電気的に接続されたTAB基板と、 前記TAB基板と電気的に接続された駆動用ICと、 前記圧電素子を収容する透明材料からなる蓋体と、を備え、 前記蓋体と前記駆動用ICとが陽極接合により接合され、前記圧電素子が前記蓋体と前記駆動用ICとで封止されたことを特徴とする圧電デバイス。

IPC (3件)：

H01L 41/09 ,  H03H 9/02 ,  H03H 3/04

FI (5件)：

H01L41/08 K ,  H03H9/02 M ,  H03H9/02 K ,  H03H3/04 B ,  H01L41/08 C

Fターム (14件)：

2F105BB13 ,  2F105CC04 ,  2F105CD01 ,  2F105CD05 ,  2F105CD13 ,  5J108AA02 ,  5J108AA09 ,  5J108BB02 ,  5J108CC06 ,  5J108EE03 ,  5J108EE06 ,  5J108EE13 ,  5J108JJ04 ,  5J108KK06

引用特許：

出願人引用 (1件)

• インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-234568   出願人：セイコーエプソン株式会社