スパッタ装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡▲崎▼ 信太郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-225956
公開番号（公開出願番号）：特開平9-049075
出願日： 1995年08月10日
公開日（公表日）： 1997年02月18日
要約：

【要約】【課題】基板取付け治具と本体の接続部分において膜の剥がれが起きないスパッタ装置を提供すること。【解決手段】基板Wに対してスパッタを施すためのスパッタ装置100において、絶縁材料で作られていて、スパッタを施すための基板Wを保持する基板取付け治具10と、複数の基板取付け治具10を搭載する本体20と、を備える。

請求項（抜粋）：

基板に対してスパッタを施すためのスパッタ装置において、絶縁材料で作られていて、スパッタを施すための基板を保持する基板取付け治具と、複数の基板取付け治具を搭載する本体と、を備えることを特徴とするスパッタ装置。

IPC (3件)：

C23C 14/34 , G11B 5/31 , H01L 21/203

FI (3件)：

C23C 14/34 J , G11B 5/31 M , H01L 21/203 S

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