特許

J-GLOBAL ID：200903019862667008

感光性組成物

発明者： 青合 利明 ,  水谷 一良
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 中村 稔 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-007179
公開番号（公開出願番号）：特開平5-027425
出願日： 1991年01月24日
公開日（公表日）： 1993年02月05日
要約：

【要約】【構成】 下記一般式(I)で表わされる1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-4-及び/又は5-ジスルホニル基を有する化合物を含有するポジ型感光性組成物。A-(SO2-SO2 -D)n (I)式中、Dは、1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-4-イル基又は1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-5-イル基を示し、Aはn価の脂肪族又は芳香族炭化水素基を示し、nは1以上の整数を示す。【効果】 高感度であり、解像力に優れている。

請求項（抜粋）：

下記一般式(I)で表わされる1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-4-及び/又は5-ジスルホニル基を有する化合物を含有するポジ型感光性組成物。A-(SO2-SO2 -D)n (I)式中、Dは、1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-4-イル基又は1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-5-イル基を示し、Aはn価の脂肪族又は芳香族炭化水素基を示し、nは1以上の整数を示す。

IPC (2件)：

G03F 7/022 ,  H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平2-100055
  
• 特開平2-071270
  
• 特開昭61-166544
  
• 特開昭58-083844