特許

J-GLOBAL ID：200903019879100656

塗布装置とその保温組付け方法と塗布方法

発明者： 前田 菊男
出願人/特許権者： コニカ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-356211
公開番号（公開出願番号）：特開2000-176343
出願日： 1998年12月15日
公開日（公表日）： 2000年06月27日
要約：

【要約】【課題】 塗布装置を構成する部品の材質が異なる場合でも塗布稼働時のスリット間隙を精度良く維持し塗布幅手方向の膜厚分布の均一化を確実にする。また、減圧チャンバー11を用いる場合にも幅手流量分布を均一に維持させる。更に、塗布再開までの間でコーターが休止中も、これらの温度を塗布稼働時の温度に管理する事により、何回塗布を繰り返しても幅手流量分布を均一に維持できるようにする。【解決手段】 スライドホッパー型塗布装置又はエクストルージョン型塗布装置において、該塗布装置を組付けるとき、その構成部品であるコーターダイスのブロック、組付けボルト、幅規制板及びサイドプレートが塗布条件温度と同温度に保温した状態にして組付けられ、塗布稼働時のスリット間隙精度が均一に保持されることを特徴とする塗布装置及びその保温組付け方法。

請求項（抜粋）：

スライドホッパー型塗布装置又はエクストルージョン型塗布装置において、該塗布装置を組付けるとき、その構成部品であるコーターダイスのブロック、組付けボルト、幅規制板及びサイドプレートが塗布条件温度と同温度に保温した状態にして組付けられ、塗布稼働時のスリット間隙精度が均一に保持されることを特徴とする塗布装置。

IPC (6件)：

B05C 5/00 102 ,  B05D 1/30 ,  G03C 1/00 ,  G03C 1/74 ,  G11B 5/84 ,  B05C 5/02

FI (6件)：

B05C 5/00 102 ,  B05D 1/30 ,  G03C 1/00 K ,  G03C 1/74 ,  G11B 5/84 Z ,  B05C 5/02

Fターム (15件)：

2H023EA03 ,  4D075AC04 ,  4D075AC96 ,  4D075DA04 ,  4D075DC27 ,  4F041AA12 ,  4F041AB01 ,  4F041BA13 ,  4F041BA34 ,  4F041BA46 ,  4F041CA07 ,  4F041CA15 ,  5D112AA22 ,  5D112CC01 ,  5D112GB03

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 塗布装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-156837   出願人：コニカ株式会社
• 特開平4-281880
  
• 塗布装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-196700   出願人：コニカ株式会社
• 特開昭57-015866