特許

J-GLOBAL ID：200903019884323701

電子放出膜及び電子放出素子の作製方法

発明者： 藤原 良治 ,  岩井 久美 ,  坂野 嘉和 ,  河手 信一 ,  三道 和宏 ,  野村 一郎
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 豊田 善雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-037362
公開番号（公開出願番号）：特開平6-231678
出願日： 1993年02月03日
公開日（公表日）： 1994年08月19日
要約：

【要約】【目的】 電子線発生装置や画像形成装置等の電子源として用いられる電子放出素子の作製方法を提供する。【構成】 基体上の電極間に形成した有機金属膜を熱処理することにより電子放出膜を形成し電子放出素子を作製する方法において、上記熱処理時に有機金属の分解温度以上の温度まで昇温する際、有機金属の融点±10°Cの温度以上且つ有機金属の分解温度未満の温度で1分以上保持した後、分解温度よりも20°C〜100°C高い温度で1分以上保持する。【効果】 電子放出膜(微粒子膜)の膜厚及び形状を均一にでき、電子放出効率及び電子放出特性に優れた素子を再現性良く安定して提供できる。

請求項（抜粋）：

基体上に形成した有機金属膜を熱処理することにより電子放出膜を作製する方法において、上記熱処理時に上記有機金属の分解温度以上の温度Tbまで昇温する際、有機金属の融点±10°Cの温度以上且つ有機金属の分解温度未満の温度Taで一定期間保持することを特徴とする電子放出膜の作製方法。

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭50-112148
  
• 特公昭58-020613