特許
J-GLOBAL ID：200903019887615460
静電チヤツク
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐々木 聖孝 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-305346
公開番号（公開出願番号）：特開平5-121530
出願日： 1991年10月24日
公開日（公表日）： 1993年05月18日
要約：
【要約】[目的]静電チャックシートと被処理体間の有効結合力を大きくして、被処理体に対する吸着保持力、被処理体の温度特性等を向上させる。[構成]サセプタ14の周縁部14Cは曲率半径の大きな湾曲状に形成されている。静電チャックシート20の糊代周縁部20Dは、サセプタ14の湾曲周縁部14Cに沿うように、つまり半導体ウエハ22の周縁部から逃げるように、湾曲状に下方に延びる。このように、水平方向(ウエハ半径方向)における湾曲周縁部20Dの長さが短くなった分だけ、静電チャックシート20の導電膜20Cが同方向に拡張されている。これにより、静電チャックシート20の導電膜20Cと半導体ウエハ22間の静電的・熱的な結合面積が増大する。
請求項（抜粋）：
サセプタの載置面に被処理体を静電力で吸着保持するための静電チャックシートを設けた静電チャックにおいて、静電チャックシートの周縁部が前記サセプタの側面に被さるように、前記静電チャックシートを立体的に形成してなることを特徴とする静電チャック。
IPC (2件)：
引用特許：
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