特許

J-GLOBAL ID：200903019891002350

荷電粒子を深針とした形態観察装置

発明者： 小池 紘民
出願人/特許権者： 株式会社トプコン
代理人 (1件)： 西脇 民雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-130967
公開番号（公開出願番号）：特開平5-325864
出願日： 1992年05月22日
公開日（公表日）： 1993年12月10日
要約：

【要約】【目的】CL(カソード・ルミネッセンス)の低下がなく、試料像以外の各種情報をとるための検出器やその他の付属装置を取り付けるスペースが確保でき、CL画像システムを既存の走査電子顕微鏡に容易に組み込むことが可能な荷電粒子を深針とした形態観察装置を提供すること。【構成】荷電粒子を試料6に照射する照射系3と、試料6から発生する光を一つの採光光路Oからダイクロイックミラー41,42により色分解する色分割部40と、上記色分割部40で分解された光を受光するPMT33,34,35と、PMT33,34,35からの受光信号に基づき、試料画像を形成する画像形成部とから構成した荷電粒子を深針とした形態観察装置。

請求項（抜粋）：

荷電粒子を試料に照射する照射系と、上記試料から発生する光を一つの採光光路から少なくとも2種類の波長分割光学部材により色分解する色分割部と、上記色分割部で分解された光を受光する受光部と、上記受光部からの受光信号に基づき、試料画像を形成する画像形成部とから構成されることを特徴とする荷電粒子を深針とした形態観察装置。

IPC (3件)：

H01J 37/22 ,  H01J 37/244 ,  H01J 37/28

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭64-045047
  
• 特開昭61-219919
  
• 特開昭62-245942