特許

J-GLOBAL ID：200903019893954889

CCDアレイ形式のX線検出器を有するX線分析装置

発明者： ヨハネス コルネリス ヤンス ,  マーリヌス ウィレム ディルケン ,  ワルテルス ウィルヘルムス ファン デン ホーヘンホフ
出願人/特許権者： コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ
代理人 (1件)： 伊東 忠彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-389212
公開番号（公開出願番号）：特開2001-183315
出願日： 2000年12月21日
公開日（公表日）： 2001年07月06日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、比較的単純な構成で、試料の好適な位置分解能が得られ、試料に対する放射線量負荷が少なく、好適なエネルギー分解能で低エネルギーX線を測定するのに好適なX線分析装置を提供することを目的とする。【解決手段】 本発明は、蛍光放射線のエネルギー分散型検出によるX線分析装置に係る。適切な位置分解能で測定を実施するには、検出器面を通って試料に向けられたX線伝導毛細管により分析放射線が試料に伝導される。このような配置では、実質的に試料からの全ての蛍光X線を検出することが可能である。本発明では、検出器はX線感応CCDアレイとして使用される。このようなCCDアレイは従来のEDX検出器と比較して良好なエネルギー分解能を供給する。更に、そのようなCCDアレイに対して、読出しのために大量の精巧なソフトウェアが利用可能である。更にそのようなCCDは例えば幾つかの画素が欠落し、無用とされた可視光線感度アレイとして直ぐに得ることが可能である。

請求項（抜粋）：

分析される試料を収容する試料領域と、上記試料に分析X線を導く供給手段と、上記試料内に発生されたX線を検出する検出器面が設けられ、比較的大きな立体角で上記試料からのX線を受けるよう上記試料に対して配置されるエネルギー分散型検出器とを含み、上記供給手段は、上記検出器面の開口部を通過して挿入される少なくとも1つのX線伝導毛細管を含むX線分析装置であって、上記エネルギー分散型検出器はX線感応電荷結合装置アレイとして構成されることを特徴とする装置。

IPC (4件)：

G01N 23/223 ,  G01T 1/24 ,  G01T 1/36 ,  G21K 1/06

FI (4件)：

G01N 23/223 ,  G01T 1/24 ,  G01T 1/36 A ,  G21K 1/06 G