特許

J-GLOBAL ID：200903019897083475

被処理物の移載装置

発明者： 大沢 哲
出願人/特許権者： 東京エレクトロン東北株式会社
代理人 (1件)： 大井 正彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-169891
公開番号（公開出願番号）：特開平5-343495
出願日： 1992年06月05日
公開日（公表日）： 1993年12月24日
要約：

【要約】【目的】 被処理物支持体に対する移載装置の実際の移載作業動作の状況を、移載装置から離隔した場所で監視することができ、常に移載装置の移載作業動作を確認することのできる被処理物の移載装置を提供すること。【構成】 被処理物支持体C,21に対して板状の被処理物Wを移載する移載装置20において、被処理物支持体に正対する移載作業位置に移動される移載装置本体41と、この移載装置本体に前進方向および後退方向に進退可能に設けられた被処理物担持部材45と、移載装置本体に設けられた、被処理物担持部材の前進方向領域を視野とするモニタカメラ30とを有することを特徴とする。モニタカメラには、その映像情報を記録する映像記録機構が接続される。

請求項（抜粋）：

板状の被処理物を支持する被処理物支持体に対して被処理物を移載する被処理物の移載装置において、前記被処理物支持体に正対する移載作業位置に移動される移載装置本体と、この移載装置本体に前進方向および後退方向に進退可能に設けられた、被処理物を担持する被処理物担持部材と、前記移載装置本体に設けられた、前記被処理物担持部材の前進方向領域を視野とするモニタカメラとを有することを特徴とする被処理物の移載装置。