特許
J-GLOBAL ID：200903019900366807
ワークの表面処理方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 辰彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-146161
公開番号（公開出願番号）：特開平6-073578
出願日： 1993年06月17日
公開日（公表日）： 1994年03月15日
要約：
【要約】【目的】処理液と反応させるワークの表面処理において、処理時間を短縮し、均一で優れた処理品質が得られる方法を提供する。【構成】超音波振動子2が取着された超音波処理槽3に供給された処理液4中にワーク5を浸漬し、超音波振動子2から処理液4に超音波を放射して、ワーク5表層の異物を処理液4と反応させて溶解、除去する。処理液4中の溶存気体を脱気する脱気手段23を設け、脱気された処理液4を超音波処理槽3に供給する。超音波洗浄槽3に処理液排出手段7を設け、その下流に脱気手段23を設け、脱気された処理液4を処理液供給手段10により超音波処理槽3に循環させる。処理液4は溶存酸素量が0.01〜5ppm、好ましくは0.1〜5ppmになるように脱気される。処理液4には酸或はアルカリの水溶液を用いる。脱気手段23は密封槽27と減圧手段28とからなる。脱気手段は、中空糸状気体分離膜を用いるものでもよい。
請求項（抜粋）：
底部に超音波振動子が取着された超音波処理槽に供給された反応性の処理液中にワークを浸漬し、該超音波振動子から該処理液に超音波を放射して、該ワーク表層の異物を該処理液と反応させて溶解、除去する表面処理方法において、該処理液中の溶存気体を除去して脱気する脱気手段を設け、該脱気手段により脱気された処理液を該超音波処理槽に供給することを特徴とする表面処理方法。
IPC (2件)：
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