特許
J-GLOBAL ID：200903019906622732
半導体試験装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-240537
公開番号（公開出願番号）：特開平11-083934
出願日： 1997年09月05日
公開日（公表日）： 1999年03月26日
要約：
【要約】【課題】パフォーマンスボード上に実装する機能回路要素を無くし、かつ多様なDUT品種に対応できるように機能回路要素間を任意に組合せ接続可能とした半導体試験装置を提供する。【解決手段】RFIC試験ボードのボードトップのPB接続用同軸コネクタに嵌合対向する位置に中継用同軸コネクタを所定複数個設け、中継用同軸コネクタとDUTを装着するICソケットの所定ピンに同軸接続したパフォーマンスボードを具備し、パフォーマンスボード側の中継用同軸コネクタに嵌合対向するボードトップにPB接続用同軸コネクタ設け、ボードに段差を設け、ボード段差部に複数個のボード間接続用同軸コネクタを設け、ボード内に所定の機能回路要素を搭載し、機能回路要素と前記ボード間接続用同軸コネクタ間を同軸ケーブルで接続したRFIC試験ボードを具備し、RFIC試験ボードのボード間接続用同軸コネクタ間を同軸ケーブルで所定に接続する中継用の同軸ケーブルを具備する手段。
請求項（抜粋）：
無線通信用の被試験デバイス(DUT)をテストヘッドのパフォーマンスボード上に装着してデバイス試験をする半導体試験装置において、テストヘッドに装着されるRFIC試験ボードのボードトップのPB接続用同軸コネクタに嵌合対向する位置に中継用同軸コネクタを所定複数個設け、該中継用同軸コネクタとDUTを装着するICソケットの所定ピンに同軸接続したパフォーマンスボードと、該パフォーマンスボード側の中継用同軸コネクタに嵌合対向するボードトップ位置にPB接続用同軸コネクタ設け、該RFIC試験ボードに段差を設け、該RFIC試験ボード段差部に複数個のボード間接続用同軸コネクタを設け、該RFIC試験ボード内に所定の機能回路要素を搭載し、該機能回路要素と前記ボード間接続用同軸コネクタ間を同軸ケーブルで接続したRFIC試験ボードと、該RFIC試験ボードのボード間接続用同軸コネクタ間を同軸ケーブルで所定に接続する中継用の同軸ケーブルと、を具備することを特徴とした半導体試験装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 31/26 G
, G01R 31/28 H
