特許
J-GLOBAL ID：200903019909168226
マイクロ波励起ガスレーザ発振装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-064958
公開番号（公開出願番号）：特開平7-273389
出願日： 1994年04月01日
公開日（公表日）： 1995年10月20日
要約：
【要約】【目的】 複数のマイクロ波電源のパルス状のマイクロ波出力を同期させることで、発振効率の高い、大出力のレーザ出力を実現するマイクロ波励起ガスレーザ発振装置の提供を目的とする。【構成】 送風機によりレーザガスを流し、光軸と同軸に配置した放電管の外部より複数のマイクロ波電源からパルス状のマイクロ波出力を印加するガスレーザ装置であって、複数のマイクロ波電源から出力されるパルス状のマイクロ波出力を同期させたマイクロ波励起ガスレーザ発振装置。
請求項（抜粋）：
光軸と同軸に配置し、内部にレーザガスを流す放電管と、前記放電管の外部よりパルス状のマイクロ波出力を印加し、前記放電管内に放電を発生させる複数のマイクロ波電源を具備し、前記複数のマイクロ波電源から出力されるパルス状のマイクロ波出力を同期させたマイクロ波励起ガスレーザ発振装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01S 3/097 A
, H01S 3/097 Z
