特許
J-GLOBAL ID:200903019909237414
ガラスセラミック基板
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
加古 宗男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-008682
公開番号(公開出願番号):特開2000-203879
出願日: 1999年01月18日
公開日(公表日): 2000年07月25日
要約:
【要約】【課題】 ガラスセラミック基板の曲げ強度を向上させ、焼成時の基板の反り(表層導体の反り)を少なくすると共に、焼成密度の低下を防ぐ。【解決手段】 CaO-Al2 O3 -SiO2 -B2 O3 系のガラス粉末:40〜60重量%(好ましくは40〜50重量%)と、アルミナ等のセラミック骨材:60〜40重量%(好ましくは60〜50重量%)とを混合し、更に、この混合物に、Na2 Oを6重量%以下(好ましくは5重量%以下)添加する。このようにして作ったガラスセラミック材料を用いてガラスセラミック基板を焼成すると、Na2 Oの添加により焼成時のガラスの流動性が良くなる。このため、曲げ強度を高めるために、セラミック骨材の配合率を増やしてガラスの配合率を少なくしても、焼成時にセラミック骨材間の微小な隙間にガラスが十分に行き渡り、焼成密度が低下せず、基板の反り(表層導体の反り)も抑えられる。
請求項(抜粋):
ガラスとセラミック骨材とを混合したガラスセラミック材料により形成したガラスセラミック基板において、前記ガラスセラミック材料にNa2 Oが添加されていることを特徴とするガラスセラミック基板。
IPC (4件):
C03C 10/00
, H01L 23/15
, H05K 1/03 610
, H05K 3/46
FI (5件):
C03C 10/00
, H05K 1/03 610 D
, H05K 3/46 T
, H05K 3/46 H
, H01L 23/14 C
Fターム (84件):
4G062AA09
, 4G062AA15
, 4G062BB05
, 4G062DA05
, 4G062DA06
, 4G062DB01
, 4G062DB02
, 4G062DB03
, 4G062DB04
, 4G062DC03
, 4G062DC04
, 4G062DD01
, 4G062DE01
, 4G062DF01
, 4G062EA01
, 4G062EB01
, 4G062EC01
, 4G062ED01
, 4G062EE04
, 4G062EE05
, 4G062EE06
, 4G062EF01
, 4G062EG01
, 4G062FA01
, 4G062FA10
, 4G062FB01
, 4G062FC01
, 4G062FD01
, 4G062FE01
, 4G062FF01
, 4G062FG01
, 4G062FH01
, 4G062FJ01
, 4G062FK01
, 4G062FL01
, 4G062GA01
, 4G062GA10
, 4G062GB01
, 4G062GC01
, 4G062GD01
, 4G062GE01
, 4G062HH01
, 4G062HH03
, 4G062HH05
, 4G062HH07
, 4G062HH09
, 4G062HH11
, 4G062HH13
, 4G062HH15
, 4G062HH17
, 4G062HH20
, 4G062JJ01
, 4G062JJ03
, 4G062JJ05
, 4G062JJ07
, 4G062JJ10
, 4G062KK01
, 4G062KK03
, 4G062KK05
, 4G062KK07
, 4G062KK10
, 4G062MM28
, 4G062NN33
, 4G062PP01
, 4G062PP03
, 5E346AA12
, 5E346AA15
, 5E346AA43
, 5E346BB01
, 5E346CC18
, 5E346CC32
, 5E346CC38
, 5E346CC39
, 5E346DD02
, 5E346DD13
, 5E346DD34
, 5E346EE24
, 5E346EE29
, 5E346FF18
, 5E346GG04
, 5E346GG06
, 5E346GG08
, 5E346GG09
, 5E346HH11
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