特許

J-GLOBAL ID：200903019910039103

荷電粒子線露光装置

発明者： 佐藤 高雅 ,  西野 久泰 ,  安武 信幸
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 伊東 忠彦 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-006367
公開番号（公開出願番号）：特開平5-190432
出願日： 1992年01月17日
公開日（公表日）： 1993年07月30日
要約：

【要約】【目的】 本発明は露光パターン信号を信号変換回路を通して偏向器に印加し、この偏向器により荷電ビームをデータに応じて偏向走査して試料上にパターン描画を行なう荷電粒子線露光装置に関し、抵抗値を変更することなく増幅器の応答速度を高速化することを目的とする。【構成】 偏向制御信号を出力する増幅器4の増幅用トランジスタQ1 のコレクタと負荷抵抗RD との接続点に抵抗R3 ,R4 を介してスイッチングトランジスタTr1 ,Tr2 のコレクタが接続されている。トランジスタTr1 ,Tr2 のベース側には第1の微分回路21、第2の微分回路22が設けられている。第1の微分回路21、第2の微分回路22で入力信号を微分してスイッチイグトランジスタTr1 ,Tr2 をスイッチング制御することにより、出力電圧の立上り及び立下りを急峻にする。

請求項（抜粋）：

パターンジェネレータ(1)で発生された露光パターンディジタル信号を変換器(2)でアナログ信号に変換した後、信号変換回路によりアナログの電圧又は電流に変換し、更に増幅器(4)で増幅して偏向制御信号として偏向手段に印加し、該偏向手段を通る荷電粒子線を偏向して試料(7)上で走査させて露光を行なう荷電粒子線露光装置において、前記増幅器(4)を構成する増幅用トランジスタ(Q1 )の出力端と負荷抵抗(RD )と出力端子(13)との共通接続点に各々第1及び第2の抵抗(R3 ,R4 )を介して各々コレクタが接続された、互いに導電型の異なる第1及び第2のスイッチングトランジスタ(Tr1 ,Tr2 )と、前記増幅用トランジスタ(Q1 )に入力される前記信号変換回路の出力信号を別々に微分して、その微分信号を別々に前記第1及び第2のスイッチングトランジスタ(Tr1 ,Tr2 )に入力する第1及び第2の微分回路(21,22)とを有することを特徴とする荷電粒子線露光装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 504 ,  G21K 5/04 ,  H01J 37/305