特許

J-GLOBAL ID：200903019917356120

マイクロアクチュエータ

発明者： 櫻井 淳
出願人/特許権者： 富士ゼロックス株式会社
代理人 (1件)： 山田 正紀 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-133323
公開番号（公開出願番号）：特開平9-318888
出願日： 1996年05月28日
公開日（公表日）： 1997年12月12日
要約：

【要約】【課題】回動角が大きくかつ駆動電圧の低いマイクロアクチュエータを提供することを目的とする。【解決手段】上面に、凹面2aを有する凹部2が形成された基板1と、凹部2の凹面2aに配置された固定電極3a,3bと、凹面2aとの間に所定の間隔Gを保ちながら凹面2aに対して回動自在に対向する凸面12aを有する可動部12と、可動部12の凸面12a上に、凸面12a上の固定電極3a,3bに対向する位置よりも回動方向にずれた位置に配置された、固定電極3a,3bに対応する可動電極5a,5bと、固定電極3a,3bと可動電極5a,5bとの間に電圧を印加する電源装置とを備えている。

請求項（抜粋）：

上面に、凹面を有する凹部が形成された基板と、該凹部の凹面に配置された固定電極と、前記凹面との間に所定の間隔を保ちながら該凹面に対して回動自在に対向する凸面を有する可動部と、該可動部の凸面上に、該凸面上の前記固定電極に対向する位置よりも回動方向にずれた位置に配置された、前記固定電極に対応する可動電極と、前記固定電極と前記可動電極との間に電圧を印加する電源装置とを備えたことを特徴とするマイクロアクチュエータ。