有機電子デバイス用の封止膜およびその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：伊藤洋二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-150787
公開番号（公開出願番号）：特開2003-347042
出願日： 2002年05月24日
公開日（公表日）： 2003年12月05日
要約：

【要約】【課題】有機EL(エレクトロルミネッセンス)素子を被覆して封止するアルミナからなる封止膜について封止性の面から膜特性を定量化し、封止性に優れた膜特性を実現できるようにする。【解決手段】有機EL素子S1は基板1の上に順次、下部電極2、有機発光材料からなる有機膜3、上部電極4が形成されてなり、この有機EL素子S1は原子層成長法により成膜されたアルミナからなる封止膜5により被覆され封止されている。この封止膜5において、赤外線分光法で測定されるAl-Oの振動エネルギーが940cm-1以上であり、X線光電子分光法で測定されるAl2p電子の結合エネルギーが74.4eV以上である。

請求項（抜粋）：

有機電子デバイス(S1)を被覆して封止する封止膜であって、赤外線分光法で測定されるAl-Oの振動エネルギーが940cm-1以上であるAl2O3からなるものであることを特徴とする有機電子デバイス用の封止膜。

IPC (4件)：

H05B 33/04 , C23C 16/40 , H05B 33/10 , H05B 33/14

FI (4件)：

H05B 33/04 , C23C 16/40 , H05B 33/10 , H05B 33/14 A

Fターム (15件)：

3K007AB12 , 3K007AB13 , 3K007AB18 , 3K007DB03 , 3K007FA02 , 4K030AA11 , 4K030AA14 , 4K030AA18 , 4K030BA43 , 4K030FA01 , 4K030FA08 , 4K030JA05 , 4K030JA10 , 4K030LA15 , 4K030LA18

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