特許

J-GLOBAL ID：200903019917684705

気体用濾材及びこれから作成したフィルター

発明者： 住岡 将行 ,  大塚 一彦
出願人/特許権者： ニッタ株式会社 ,  富士通株式会社
代理人 (1件)： 辻本 一義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-211773
公開番号（公開出願番号）：特開平6-055019
出願日： 1992年08月07日
公開日（公表日）： 1994年03月01日
要約：

【要約】【目的】 濾過された気体中に、半導体等の電子分野における製品やバイオ系製品の性能悪化を招く硼素やリンがほとんど含まれない気体用濾材及びこれから作成したフィルターを提供すること。【構成】 基礎材料として、純水中に硼素1×10-6/繊維g,65°C×120hrs を超えて溶出しない細径のガラス繊維を使用し、抄造用の水として純水を使って作成している。

請求項（抜粋）：

基礎材料として、純水中に硼素1×10-6g/繊維g,65°C×120hrs を超えて溶出しない細径のガラス繊維を使用し、抄造用の水として純水を使って作成したことを特徴とする気体用濾材。

IPC (2件)：

B01D 39/20 ,  B01D 39/16

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 特開昭63-209722
  
• 特開平3-202117
  
• 特開平1-168313
  
• 特開平2-251214
  
• 特開昭59-006231