特許
J-GLOBAL ID：200903019923797856
蛍光X線膜厚計
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-047017
公開番号（公開出願番号）：特開平6-258061
出願日： 1993年03月08日
公開日（公表日）： 1994年09月16日
要約：
【要約】【目的】 コリメータ5と測定試料6の間にミラー4を設けない構造の蛍光X線膜厚計において、一次X線ビームの広がりを抑え、かつ測定中であっても試料画像がモニタできること。【構成】 一次X線2を絞るコリメータ5と、試料画像をカメラ1に導くためのミラー4と、カメラ1からの映像信号をフレームメモリ9に取り込むためのAD変換器8と、画像情報を蓄積するためのフレームメモリ9と、フレームメモリ9の情報を映像信号に変換するDA変換器10と、表示デバイス11と、表示デバイス11への信号を切り替える切り替え器12と、画像データの加工及びその他の制御を行うCPU7から構成される。
請求項（抜粋）：
一次X線を絞るコリメータと、試料画像をカメラに導くためのミラーと、カメラからの映像信号をフレームメモリに取り込むためのAD変換回路と、画像情報を蓄積するためのフレームメモリと、フレームメモリの情報を映像信号に変換するDA変換回路と、表示デバイスと、表示デバイスへの信号を切り替える切り替え器と、画像データの加工及びその他の制御を行うCPU回路からなり、試料測定中に、コリメータと測定試料との間にミラーを設置せずに、試料画像をモニタできることを特徴とする蛍光X線膜厚計。
IPC (2件)：
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