特許

J-GLOBAL ID：200903019929010041

光導波路の作製方法

発明者： 広瀬 智財 ,  金森 弘雄 ,  浦野 章 ,  向後 隆司 ,  齋藤 眞秀
出願人/特許権者： 住友電気工業株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-181497
公開番号（公開出願番号）：特開平7-035936
出願日： 1993年07月22日
公開日（公表日）： 1995年02月07日
要約：

【要約】【目的】 再現性良く所望のリン濃度をもつ光導波路を作製し得る方法を提供する。【構成】 本発明の光導波路の作製方法は、火炎バーナに原料ガスを供給してガラス微粒子を基板に堆積させ、このガラス微粒子が堆積した基板を加熱処理することによって、ガラス微粒子が透明ガラス化したガラス膜の形成がなされる光導波路の作製方法において、原料ガスとして、リン元素を含む原料とSi元素を含む原料とを含むガスを供給し、形成しようとするガラス膜のリン濃度X(wt%)が低い場合に、ガラス微粒子を堆積する際のリン元素を含む原料の総供給量S(cc)を、「(220-30)×X≦S≦(220+30)×X」としてガラス微粒子を堆積することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

火炎バーナに原料ガスを供給してガラス微粒子を基板に堆積させ、このガラス微粒子が堆積した前記基板を加熱処理することによって、前記ガラス微粒子が透明ガラス化したガラス膜の形成がなされる光導波路の作製方法において、前記原料ガスにリン元素を含む原料を混合し、形成しようとする前記ガラス膜のリン濃度X(wt%)に対し、前記ガラス微粒子を堆積する際の前記リン元素を含む原料の総供給量S(cc)を、「(220-30)×X≦S≦(220+30)×X」として前記ガラス微粒子を堆積することを特徴とする光導波路の作製方法。

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-344603
  
• 特開昭57-081213
  
• 特開昭62-288802
  
• 特開昭63-182227