特許

J-GLOBAL ID：200903019932454457

液晶表示装置の製造方法およびアレイ基板ならびに液晶表示装置

発明者： 井上 浩治 ,  松川 秀樹
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 宮井 暎夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-146645
公開番号（公開出願番号）：特開2002-341355
出願日： 2001年05月16日
公開日（公表日）： 2002年11月27日
要約：

【要約】【課題】 従来の球状スペーサ散布方式から、フォトリソ方式で形成する柱状スペーサ方式に置き換えた場合、工程数を削減できる。【解決手段】 アレイ基板11aのスイッチング能動素子3の上に平坦化膜を形成し、この平坦化膜5の上面に画素電極8を形成する構成において、平坦化膜を形成するに際して、アレイ基板11a上に感光性樹脂5を形成する工程と、全透過の柱状スペーサ用パターン20aと、遮光の画素電極8とスイッチング能動素子3とを導通させるために形成するコンタクトホール用パターン20cと、柱状スペーサ5bとコンタクトホール7以外のハーフトーンのパネル表示領域用パターン20bとを有するフォトマスク20を用いて感光性樹脂5を露光現像する工程とを含む。これにより、1回の露光現像により、所要高さの柱状スペーサ5bとコンタクトホール7がアレイ基板11aに一括形成できる。

請求項（抜粋）：

画素電極および前記画素電極を駆動するスイッチング能動素子を有するアレイ基板を作製する工程と、前記画素電極の対向電極を有するカラーフィルタ基板を作製する工程と、前記アレイ基板に柱状スペーサを形成する工程と、前記アレイ基板と前記カラーフィルタ基板との間隙に液晶を封入する工程とを含み、前記アレイ基板の前記スイッチング能動素子の上に平坦化膜を形成し、この平坦化膜の上面に前記画素電極を形成する液晶表示装置の製造方法であって、前記平坦化膜を形成する際に、前記アレイ基板上に感光性樹脂を形成する工程と、前記柱状スペーサ用パターンと、前記画素電極と前記スイッチング能動素子とを導通させるために形成するコンタクトホール用パターンと、前記柱状スペーサと前記コンタクトホール以外のパネル表示領域用パターンとを有し各々のパターンの透過率が異なるフォトマスクを用いて前記感光性樹脂を露光現像する工程とを含む液晶表示装置の製造方法。

IPC (9件)：

G02F 1/1339 500 ,  G02B 5/20 101 ,  G02F 1/1333 505 ,  G02F 1/1335 505 ,  G02F 1/1368 ,  G03F 1/08 ,  G03F 7/20 501 ,  H01L 21/336 ,  H01L 29/786

FI (10件)：

G02F 1/1339 500 ,  G02B 5/20 101 ,  G02F 1/1333 505 ,  G02F 1/1335 505 ,  G02F 1/1368 ,  G03F 1/08 D ,  G03F 7/20 501 ,  H01L 29/78 612 D ,  H01L 29/78 627 A ,  H01L 29/78 619 A

Fターム (55件)：

2H048BA48 ,  2H048BB08 ,  2H048BB28 ,  2H048BB42 ,  2H089LA07 ,  2H089LA09 ,  2H089LA41 ,  2H089QA12 ,  2H089QA16 ,  2H089TA01 ,  2H089TA09 ,  2H089TA12 ,  2H089TA16 ,  2H090JD14 ,  2H090LA02 ,  2H090LA04 ,  2H090LA09 ,  2H090LA15 ,  2H091FA02Y ,  2H091FA08X ,  2H091FA08Z ,  2H091FB04 ,  2H091GA08 ,  2H091GA13 ,  2H091LA12 ,  2H091LA30 ,  2H092GA29 ,  2H092JA24 ,  2H092JA46 ,  2H092JB58 ,  2H092MA05 ,  2H092MA14 ,  2H092NA01 ,  2H092NA27 ,  2H092NA29 ,  2H092PA01 ,  2H092PA03 ,  2H092PA08 ,  2H092PA11 ,  2H095BA03 ,  2H095BA12 ,  2H095BC09 ,  2H097GA45 ,  2H097LA12 ,  5F110AA16 ,  5F110BB01 ,  5F110CC07 ,  5F110DD02 ,  5F110HL07 ,  5F110HL14 ,  5F110NN02 ,  5F110NN05 ,  5F110NN27 ,  5F110NN72 ,  5F110QQ19

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 電極基板の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-069840   出願人：株式会社東芝
• 液晶パネル、液晶パネルの製造方法および液晶表示装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-006082   出願人：ソニー株式会社
• アクティブマトリックス基板及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-276012   出願人：日本電気株式会社