特許

J-GLOBAL ID：200903019932816030

圧電アクチュエータ、インクジェット式記録ヘッド、これらの製造方法及びインクジェットプリンタ

発明者： 角 浩二 ,  中村 治夫 ,  邱 宏 ,  西脇 学
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 稲葉 良幸 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-056138
公開番号（公開出願番号）：特開2000-315827
出願日： 2000年03月01日
公開日（公表日）： 2000年11月14日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 実用性の高い圧電体膜を提供する。【解決手段】 上部電極5、圧電体膜4及び下部電極3の積層構造を備えた圧電アクチュエータ20において、圧電体膜4は、第1の圧電セラミックス粒子群42と第2の圧電セラミックス粒子群43とから構成される。第1の圧電セラミックス粒子群42を構成する各粒子のサイズは、第2の圧電セラミックス粒子群43を構成する各粒子のサイズよりも大きく、かつ、第1の圧電セラミックス粒子群の組成と第2の圧電セラミックス粒子群の組成とが異なる。

請求項（抜粋）：

上部電極、圧電体膜及び下部電極の積層構造を備えた圧電アクチュエータにおいて、前記圧電体膜は、第1の圧電セラミックス粒子群と第2の圧電セラミックス粒子群とから構成され、第1の圧電セラミックス粒子群を構成する各粒子のサイズは、第2の圧電セラミックス粒子群を構成する各粒子のサイズよりも大きいく、かつ、第1の圧電セラミックス粒子群の組成と第2の圧電セラミックス粒子群の組成とが異なることを特徴とする圧電アクチュエータ。

IPC (5件)：

H01L 41/09 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16 ,  H01L 41/22

FI (4件)：

H01L 41/08 C ,  B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H ,  H01L 41/22 Z

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 圧電磁器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-320456   出願人：トヨタ自動車株式会社
• 圧電セラミックスとその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-240663   出願人：松下電器産業株式会社