特許
J-GLOBAL ID：200903019938560100
ウェハテスト方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-125060
公開番号（公開出願番号）：特開平5-322973
出願日： 1992年05月18日
公開日（公表日）： 1993年12月07日
要約：
【要約】【目的】 各々のチップに常に最適の針圧をかけることができるウェハテスト方法を得る。【構成】 検針に対する前記パッドの位置を設定するステップと、前記検針に基づいて電気特性試験を行うステップと、前記検針と前記パッドとの接触関係を前記電気特性試験の結果から判断するステップと、前記接触関係がオープンと判断されたときに前記パッドを前記検針に所定値だけ接近させるステップと、前記接触関係がショートと判断されたときに前記チップに対するウェハテストを実行するステップと、を含み、チップ毎に針圧を決定するパッド位置(高さ)を求めてテストを実行する。
請求項（抜粋）：
テスト用の検針をチップ上のパッドに接触させて前記チップをウェハ状態で検査するウェハテスト方法において、前記検針に対する前記パッドの位置を設定するステップと、前記検針に基づいて電気特性試験を行うステップと、前記検針と前記パッドとの接触関係を前記電気特性試験の結果から判断するステップと、前記接触関係がオープンと判断されたときに前記パッドを前記検針に所定値だけ接近させるステップと、前記接触関係がショートと判断されたときに前記チップに対するウェハテストを実行するステップと、を含むことを特徴とするウェハテスト方法。
IPC (3件)：
G01R 31/26
, G01R 1/073
, H01L 21/66
