特許

J-GLOBAL ID：200903019940803800

イオンビーム分析装置

発明者： 福山 博文 ,  木村 誠 ,  井上 憲一 ,  石橋 清隆
出願人/特許権者： 株式会社神戸製鋼所
代理人 (1件)： 金丸 章一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-251354
公開番号（公開出願番号）：特開平5-087710
出願日： 1991年09月30日
公開日（公表日）： 1993年04月06日
要約：

【要約】【目的】 真空チャンバ内に配置した試料にイオンビームを照射して分析をおこなうイオンビーム分析装置において、真空チャンバ内の高真空をブレークすることなく試料を逐次交換できると共に、その試料を高精度に位置決めでき、自動的な連続多試料分析を高精度に行うことのできる構成とする。【構成】 真空チャンバ(5) 内に配された先端部の試料受台(9a)上に試料(6) を搭載し、この試料(6) をビーム照射軸線BL上に高精度に位置決めするゴニオメータ(9) と、ゲート弁(10)を介して真空チャンバ(5) に連結され、独立して脱気可能なサブチャンバ(11)と、このサブチャンバ(11)内と試料受台(9a)との間を試料(6) を保持して移動する試料移送ロッド(13)と、サブチャンバ(11)内に配設され、外周に複数の試料(6) を保持すると共に、その内の一つを選択的に試料移送ロッド(13)の移動線上に位置決めする試料保持盤(12)とを備えてなる構成とする。

請求項（抜粋）：

真空チャンバ内に配置した試料にイオンビームを照射してラザフォード後方散乱法や粒子励起X線分光法により当該試料の分析をおこなうイオンビーム分析装置において、真空チャンバ内に配した先端部の試料受台上に試料を搭載すると共に、この試料をイオンビームの照射軸線上に高精度に位置決め可能な精密位置決装置と、真空チャンバ内に連通して設けられ、複数の試料を収容すると共に、その内部を真空チャンバと独立して脱気可能なサブチャンバと、このサブチャンバと真空チャンバとの間に介設されたゲート弁と、試料を保持して前記サブチャンバ内と精密位置決装置の試料受台上との間を移動し、前記サブチャンバ内の試料を精密位置決装置の試料受台上に装脱可能な試料移送ロッドと、前記サブチャンバ内に配設され、このサブチャンバ内に収容される複数の試料を保持すると共に、これら試料の内の一つを選択的に前記試料移送ロッドの移動線上に位置決め可能な多試料保持装置とを備えてなることを特徴とするイオンビーム分析装置。

IPC (2件)：

G01N 1/28 ,  G01N 23/225