面位置調整装置及びその方法並びに露光装置及びその方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：立石篤司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-103811
公開番号（公開出願番号）：特開平10-284404
出願日： 1997年04月07日
公開日（公表日）： 1998年10月23日
要約：

【要約】【課題】面位置調整の対象物体の表面に凹凸がある場合であっても、高精度な合焦動作を行ない得る面位置調整装置を提供する。【解決手段】メモリ96内には、検出系(40、42)の複数の検出点のそれぞれにおける投影光学系PLを介した最良結像面位置及びフォーカスマージンデータが記憶されている。主制御装置44では、メモリ96の記憶内容と検出系(40、42)の検出結果とに基づいてウエハW表面の投影光学系PLによるパターンの投影領域が最良結像面の焦点深度内に入るように駆動装置21を制御する。この結果、投影光学系の像面湾曲に応じ、各検出点毎の最良結像面位置及びフォーカスマージンデータに基づいてウエハWの面位置の調整が行われるので、全ての検出点についてウエハW表面がその検出点のフォーカスマージンの範囲内に入るようにウエハの面位置が調整される。

請求項（抜粋）：

第1物体に形成されたパターンを第2物体の面上に投影する投影光学系の像面に前記第2物体表面を一致させる面位置調整装置であって、所定の基準面に直交する第1軸方向の前記第2物体の前記基準面に対する相対位置を複数の検出点で検出する面位置検出手段と;前記面位置検出手段の複数の検出点のそれぞれにおける前記投影光学系を介した最良結像面位置及びフォーカスマージンデータが記憶された記憶手段と;前記第2物体を前記第1軸方向及び前記基準面に対する傾斜方向に駆動する駆動手段と;前記記憶手段の記憶内容と前記面位置検出手段の検出結果とに基づいて前記第2物体表面の前記投影光学系によるパターンの投影領域が前記最良結像面の焦点深度内に入るように前記駆動手段を制御する制御手段とを有する面位置調整装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , G01B 11/00 , G03F 7/207

FI (3件)：

H01L 21/30 526 A , G01B 11/00 C , G03F 7/207 H

引用特許：

審査官引用 (1件)

投影露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-237163 出願人：株式会社ニコン

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