ハイブリッド光回路およびマトリクス光スイッチ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岩佐義幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-027003
公開番号（公開出願番号）：特開平5-224245
出願日： 1992年02月14日
公開日（公表日）： 1993年09月03日
要約：

【要約】【目的】集積規模が大きく、高度な機能を持ち、しかも低損失な光回路および大規模で低損失なマトリクス光スイッチを提供する。【構成】シリコン基板21の上に分岐干渉形光変調器22,23、光スイッチ25等の能動素子と、合波器24、出射光導波路26,27等の受動素子が集積されており、受動素子および能動素子の中の受動光導波路部分、例えば分岐干渉形光変調器の分岐および合流部分等は、シリコン基板21上の二酸化シリコンのバッファ層34を介して設置した二酸化シリコンに酸化チタンなどの屈折率を増加させる物質をドープした材料からなる第一の光導波路から構成され、能動素子の電圧印加により屈折率を制御する部分は有機材料により形成され電極を設置した第2の光導波路により構成される。

請求項（抜粋）：

シリコン基板上に形成された二酸化シリコン膜の上に形成され、少なくとも1つの端部を有し、二酸化シリコンを主成分とし前記二酸化シリコン膜よりも屈折率が大きな物質よりなる第1の光導波路と、前記シリコン基板上に形成され、前記第1の光導波路の端部に光学的に結合した有機材料を主成分とする第2の光導波路と、その第2の光導波路近傍に設置した電極とよりなるハイブリッド光回路。

IPC (3件)：

G02F 1/313 , G02B 6/12 , H04B 10/02

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平3-059546
特開昭62-183406
特開昭62-052960

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