非蒸発型ゲッタ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：須山佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-009840
公開番号（公開出願番号）：特開平5-205662
出願日： 1992年01月23日
公開日（公表日）： 1993年08月13日
要約：

【要約】【目的】非蒸発型ゲッタの主要部をなす活性金属粒子などが飛散する恐れを解消するとともに、有効吸着面積も増加され、常に十分なガス吸着能力を保持・発揮し得る非蒸発型ゲッタの提供を目的とする。【構成】両主面間を貫通する多数の空隙部を有する支持体3と、前記支持体3に圧接的に担持された活性金属の微粉末から成る顆粒体層4とを具備して成ることを特徴とする。そして、この様な本発明においては、前記支持体3が非磁性金属メッシュであること、好ましくはその非磁性金属メッシュの目開きが10〜1000μm であること、また、前記非蒸発型ゲッタの厚みが 0.1〜 0.4mmで、かつ顆粒体層4表面が 2〜20μm の凹凸状を成していることが望ましい。

請求項（抜粋）：

両主面間を貫通する多数の空隙部を有する支持体と、前記支持体に圧接的に担持された活性金属の微粉末から成る顆粒体層とを具備して成ることを特徴とする非蒸発型ゲッタ。

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