特許
J-GLOBAL ID：200903019950400151
駆動型光部品
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-021384
公開番号（公開出願番号）：特開平7-230049
出願日： 1994年02月18日
公開日（公表日）： 1995年08月29日
要約：
【要約】【目的】 光導波路の切り換え機能を有する光部品の新たな構造を提供する。【構成】 光部品は、Si基板11上にSiO2 層15を介して固定された固定電極12と、SiO2 層16を介して一部がSi基板11上に固定された可動電極13を備える。可動電極13の可動部13bは、一端が固定された片持ち梁構造を呈しており、可動部13b上に光導波路14を配している。固定電極12と可動電極13との間に電位差を与えれば、静電力によって、可動部13bが固定電極12側に引き寄せられる。これにより光導波路14が変位するため、先端部14aの変位を利用して、光導波路の切り換えを行うことができる。
請求項（抜粋）：
支持基板上に固定された固定電極と、前記固定電極に隣設して配設され、この固定電極との間に働く静電力を受けて、その配設位置が変位する可動電極と、前記可動電極に対して直接的或いは間接的に連設され、前記可動電極の動きに連動してその配設位置が変位する光導波路と、を備える駆動型光部品。
IPC (3件)：
G02B 26/08
, G02B 6/00 301
, G02B 6/122
