デバイス製造装置およびデバイス製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-096882
公開番号（公開出願番号）：特開2000-294475
出願日： 1999年04月02日
公開日（公表日）： 2000年10月20日
要約：

【要約】【課題】オペレータによるパラメータの変更回数を少なくし、かつパラメータの設定ミスを防ぐ。【解決手段】新規に追加されるパラメータと関係がある他のパラメータに関する情報(連動情報)を登録、記憶し、その連動情報と前記他のパラメータとを解析して、新規に追加されるパラメータの設定を自動的に行なう。

請求項（抜粋）：

新規に追加されるパラメータと関係がある他のパラメータに関する情報である連動情報をデータベース中に登録および記憶する手段と、データベース内に記憶されている連動情報を解析し、新規に追加されるパラメータにその解析結果を反映する手段とを有することを特徴とするデバイス製造装置。

Fターム (9件)：

5F046AA22 , 5F046BA03 , 5F046CD01 , 5F046CD02 , 5F046DA26 , 5F046DA27 , 5F046DA30 , 5F046DD01 , 5F046DD06

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