感放射線性樹脂組成物

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：福沢俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-128516
公開番号（公開出願番号）：特開2001-013688
出願日： 2000年04月27日
公開日（公表日）： 2001年01月19日
要約：

【要約】【課題】遠紫外線に代表される活性放射線に感応する化学増幅型レジストとして、放射線に対する透明性が高く、かつドライエッチング耐性、感度、解像度、パターン形状等のレジストとしての基本物性に優れ、しかも組成物としての保存安定性にも優れた感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】感放射線性樹脂組成物は、(A)下記式(1)または式(2)に示す各繰返し単位からなる共重合体で代表される樹脂、並びに(B)感放射線性酸発生剤を含有する。【化1】【化2】

請求項（抜粋）：

(A)下記一般式(1)に示す繰返し単位(I)と繰返し単位(II) と繰返し単位(III-1)とを有する共重合体および下記一般式(2)に示す繰返し単位(I)と繰返し単位(II) と繰返し単位(III-2)とを有する共重合体の群から選ばれるアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の酸解離性基含有樹脂であって、該酸解離性基が解離したときアルカリ可溶性となる樹脂、並びに(B)感放射線性酸発生剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【化1】【化2】〔一般式(1)および一般式(2)において、AおよびBは相互に独立に水素原子または酸の存在下で解離して酸性官能基を生じる炭素数20以下の酸解離性有機基を示し、かつAおよびBの少なくとも一方が該酸解離性有機基であり、XおよびYは相互に独立に水素原子または炭素数1〜4のアルキル基を示し、nは0〜3の整数であり、R1 は水素原子、メチル基またはメチロール基を示し、R2は脂環族基を有する炭素数3〜15の2価の炭化水素基を示し、R3 は脂環族基を有する炭素数3〜15の3価の炭化水素基を示す。〕

IPC (7件)：

G03F 7/039 601 , C08F232/00 , C08K 5/00 , C08L 33/14 , C08L 35/00 , C08L 45/00 , H01L 21/027

FI (7件)：

G03F 7/039 601 , C08F232/00 , C08K 5/00 , C08L 33/14 , C08L 35/00 , C08L 45/00 , H01L 21/30 502 R

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