特許
J-GLOBAL ID:200903019963510843
飛行時間型質量分析装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
小林 良平
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-365117
公開番号(公開出願番号):特開平11-185697
出願日: 1997年12月18日
公開日(公表日): 1999年07月09日
要約:
【要約】【課題】 イオンのエネルギ収束と発生時間幅の短縮化を最適に行ない、高い分解能の測定を行なう。【解決手段】 まず、イオン発生前に第1グリッド26の印加電圧VGをサンプルスライド11及び第2グリッド27の電圧Vsより低くしておき、レーザ光をサンプル12に照射してサンプル12から発生したイオンを右方向に引き出して、第1、第2グリッド26、27の間に溜める。所定時間経過後に第1グリッド26への印加電圧VGをVsより高くし、第1、第2グリッド26、27の間に存在するイオンを一斉に加速して飛行空間22に導入する。所定時間経過後にサンプル12から発生したイオンには加速電圧が加わらないので、見かけ上イオン発生時間幅は所定時間迄に制限される。
請求項(抜粋):
サンプルより発生した各種イオンを加速した後に飛行空間内に導入して飛行させ、イオンの質量数に応じて相異なる飛行時間をもって検出器に到達させる飛行時間型質量分析装置において、a)イオンをサンプル表面から引き出して加速するために、該サンプルを装着したサンプル支持台から離間して順に配設された第1、第2及び第3なる少なくとも3段階のグリッドと、b)イオンの発生開始時点より所定の遅延時間が経過する迄は、サンプル支持台及び第2グリッドの電位をそれぞれ第1グリッドの電位よりも高く保ち、該遅延時間が経過した後には、第1グリッドの電位をサンプル支持台及び第2グリッドの電位よりも高く、且つ第2グリッドの電位を第3グリッドの電位よりも高くするように、サンプル支持台及び第1乃至第3グリッドの電位を設定する電位設定手段と、を備えることを特徴とする飛行時間型質量分析装置。
IPC (2件):
FI (2件):
H01J 49/40
, G01N 27/62 K
引用特許: